氣浮定位平臺是一種用于機械工程領域的分析儀器,PBA超精密氣浮平臺的主要構成部分,包括底座、導軌、氣浮滑塊和頂板等,采用PBA直線電機驅動。
超精密氣浮平臺按導軌形式可分為機械式、磁懸浮式和氣浮式等,它是一個機電一體化系統,是集靜壓氣體導軌技術、直線驅動技術、數控技術、動靜態特性分析與優化、自動控制原理、測試與實驗分析等多種技術于一體的綜合技術,其中,控制系統是定位平臺能否實現高速精度定位的關鍵。機械式導軌由于摩擦、死區等特性難以達到超精密的定位要求,而磁懸浮式和氣浮式導軌因為沒有摩擦,故能實現超精密定位。磁懸浮式導軌需要高性能的控制系統,制造成本較高,氣浮式導軌則具有結構簡單、質量輕便和設計靈活等優點。超精密氣浮定位平臺在工作中會受到驅動系統的沖擊力、負載的慣性力、氣體的脈動力等復雜載荷的作用,還會受到環境振動的干擾,對于需要微米、亞微米甚至納米級定位精度的定位平臺,如果其結構動力學特性設計不好,在工作中發生共振,將嚴重影響其定位精度。
超精密氣浮定位平臺大多以花崗巖作為氣浮臺主要材料,花崗巖力學穩定性好,經過億萬年的天然力學平衡,其內應力基本上消失,內部結構穩定,能夠長期保持較好的穩定性?;◢弾r自身形狀受溫度影響非常小,熱膨脹系數非常小,導熱率也較低,因此對于周圍環境的要求較低,同時花崗巖易于加工,吸震性好。相對于金屬制品,不用考慮生銹,腐蝕等其他因素的影響??梢缘玫奖容^穩定的氣浮機構,實現壓縮空氣從節流孔噴出時將超精密加工實驗臺均勻浮起的懸浮系統。
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